2019.09.19 工学部 tsuyoshi

集積回路を支えるマイクロ・ナノ加工-微細加工(フォトリソグラフィ)の精度が決まる原理を解説！

工学系に所属しているtsuyoshiです。 今回は、集積回路などにおける微細構造物の加工の肝となる、加工の精度(＝解像度)についての記事です。 (引用：Cen Shawn Wu et al., Lithography ,…